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用于凈化 He Ne Ar Kr Xe 等惰性氣體。使凈化后的氣體純度可達到 7N（99.99999%）以上。凈化后的雜質含量 H2O、H2、O2、N2、NO、NH3、CO、CO2 含量小于 0.01ppm（10ppb），同時又有去除CH4、CF4、CCl4 等雜質的能力。
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